一、主要用途:
主要用于硅片生產過程中花籃的自動上下機及轉用。
二、主要特點:
1.機架采用鋁型材,保證剛性的同時,美觀環保;
2.采用3軸模組式機械手設計,重復定位精度+(-)0.05mm;
3.搬運負載:15KG。